科仪创新真空有限公司-触摸屏质量流量控制器原理

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计产品对使用气体的要求

要求气体必须洁净且没有颗粒物，触摸屏质量流量控制器原理，没有液体。建议客户在上游气路中安装

质量流量计

质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表，触摸屏质量流量控制器公司，相较于传统的体积流量计更为准确。它通过直接测量流体的质量而非体积来提供准确的实时数据，消除了因温度、压力等环境因素引起的误差影响。这种设备通常适用于气体和液体流量的准确计量和控制场景中，如化工生产过程中的原料投料控制或环保领域的气体排放监测等领域的应用非常广泛且重要性日益凸显。